科优材料科技自主研发“一种水溶性丙烯酸光致抗蚀剂”获国家专利授权

2024年12月25日16:29 来源：慧正资讯

慧正资讯：近日，广东科优材料科技有限公司传来喜讯，其自主研发的发明专利——“一种水溶性丙烯酸光致抗蚀剂”成功获得国家知识产权局授权。这一专利的取得，标志着科优材料科技在半导体器件及电子元件光刻工艺领域取得了重要突破，也为公司的技术创新和市场拓展奠定了坚实基础。

寰俊鍥剧墖_20241225162927.jpg

本专利一种水溶性丙烯酸光致抗蚀剂，用于半导体器件及电子元件光刻工艺过程中的加工。本光致抗蚀剂采用改性丙烯酸类四元共聚物树脂做为其中的树脂组份，其中第一单体为含有卤素的苯乙烯类衍生物，第二单体为N- 羟基- 5- 降冰片烯- 2，3- 二甲酰亚胺类衍生物，第三单体为改性苯乙烯类化合物，第四单体为(甲基)丙烯酸。

本发明的交联网状立体结构使得本发明所公开的水溶性丙烯酸光致抗蚀剂保持水溶性的基础上，提供了优秀的抗刻蚀性。

科优材料科技自成立以来，始终坚持以研发为核心、市场为导向、质量为生命的经营理念，致力于开发更环保、更高性能的产品。该专利的成功获取将进一步增强科优材料在上下游产业链中的竞争力。面对未来，科优材料将继续秉承“科技创造优品，品质铸就辉煌”的宗旨，以新材料技术顶端为目标，不断加强技术储备和市场敏锐度，致力于将更多创新成果转化为实际产品，推动行业的可持续发展。同时，公司也将积极响应国家环保政策，为推动绿色制造、实现碳达峰碳中和目标贡献自己的力量。

此次水溶性丙烯酸光致抗蚀剂专利的获得，是科优材料科技发展历程中的一个重要里程碑。期待科优材料在未来能够继续保持创新活力，为材料科技领域带来更多惊喜和突破。

新闻快讯

深度专题

高端访谈

行业资讯

投稿

微信

微博

微直播