三井化学与imec公司签约合作开发新一代EUV光刻薄膜

2023年12月25日10:54 来源：化工新材料

12月13日，三井化学与世界领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心imec公司签署了战略合作伙伴协议，共同开发极紫外线（EUV）光刻技术，并签署了使用碳纳米管（CNT）薄膜的下一代颗粒的商业化战略合作伙伴协议，该颗粒用于极紫外线（EUV）光刻技术。
通过此次合作，三井化学将把自己的CNT粒子技术与imec的CNT粒子基础技术相结合，力争在2025-2026年之前推出用于高功率EUV光刻技术的产品。
合作开发下一代EUV薄膜
imec将为三井化学新一代产品的商业化提供咨询和EUV光刻机评估。新一代CNT胶粒旨在保护光掩膜免受EUV光刻过程中的污染，并具有优异的光学性能，如高EUV透射率（>94%）和极低的EUV反射率，这对于先进半导体制造中的高产量和高产能至关重要。
此外，新一代CNT粒子可承受超过1kW的EUV曝光功率，使其适用于ASML光刻机创新路线图中的下一代EUV光刻机（>600 W）。在大批量生产过程中使用EUV光刻设备的公司对这类新产品的特性非常感兴趣，目前，三井与imec公司正通过此次合作，希望加速用于下一代EUV光刻技术的CNT粒子商业化。
加速布局薄膜业务
随着半导体小型化，EUV光刻机变得越来越复杂，三井化学希望将新一代薄膜商业化，以抓住半导体相关业务增长的需求。
此前，三井化学从旭化成手中收购半导体和LCD制造工艺中光掩模用保护膜业务，除了用于前端半导体工艺的EUV薄膜外，还将生产使用深紫外（DUV）光源的光刻工艺中使用的DUV薄膜，并且灵活利用旭化成在这项业务方面的知识。目标是通过在后端工艺中生产用于3D安装的薄膜来满足需求，这将在其薄膜业务中创造协同效应。
当今最先进的半导体光刻工艺使用EUV光源，特别是13.5nm的光。EUV光允许在半导体中构建更小的单位特征。据报道，EUVL系统目前耗资1.5亿美元，由ASML于2019年首次部署，该公司一直保持着100%的市场份额。
据报道，EUVL系统目前耗资1.5亿美元，由ASML于2019年首次部署，该公司一直保持着100%的市场份额。

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