兴福电子新建4万吨电子级硫酸产线品质取得新突破

2022年10月20日09:35 来源：电子化工新材料联盟

慧正资讯，10月18日，湖北兴福电子材料股份有限公司获悉，该公司于今年二季度新投入试生产4万吨电子级硫酸产线，截止目前，该产线已基本达产达效。产出的电子级硫酸产品的关键指标Fe、Cr、Ni等金属离子小于5ppt，30nm颗粒度低于50pcs/mL，达到G5等级，品质达到国际先进水平，并且成功出货供应国内主流芯片企业。

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路领域。高品质电子级硫酸制备的关键技术长期被美国、德国和日本等国家垄断，我国长期依赖进口，随着国内28nm及以下先进制程的量产，进一步加剧超高品质电子级硫酸短缺的局面，严重影响我国半导体产业健康发展。

兴福电子自2017年第一套电子级硫酸生产线建成以来，围绕电子级硫酸生产关键技术与应用领域，通过5年的工艺创新及技术攻关，已掌握超高纯电子级硫酸制备和微纳颗粒脱除等系列关键技术，可稳定生产供应G5等级的电子级硫酸产品。

据了解，此前，兴福电子已在国内率先实现28nm及以下先进制程用超高纯电子级硫酸批量生产，成功供应国内外知名半导体企业，打破了国际垄断。4万吨电子级硫酸产线正式投产后，兴福电子将拥有 6万吨/年电子级硫酸产能，成为目前国内产能规模最大的电子级硫酸生产企业。

此外，该公司还拥有电子级磷酸、功能性配方化学品等多品类湿电子化学品，其自主开发的电子级磷酸产品同样打破了国际垄断。据介绍，经过十余年的技术革新，目前公司电子级磷酸产品关键技术指标Fe等金属离子达到3ppb以内，并成功应用于国际先进的芯片产线。据初步估算，该公司电子级磷酸产品国内市场占有率超60%，并大量出口海外客户。与此同时，该公司的硅蚀刻液，金属蚀刻液、BOE蚀刻液、以及清洗液等功能性配方化学品，产品品质达到国内领先水平，并且稳定供应国内外知名芯片企业。近年来，该公司致力于打造国际一流的芯片用电子化学品产业基地，持续加强电子化学品核心技术的开发升级和产业化应用，已成长为国内湿电子化学品行业头部企业。

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